MASK-DR SEM E5600 series
E5620は、フォトマスク上の微小欠陥のレビューとクラシフィケーションを可能にする、MASK
DR-SEM(∗)です。
安定性の高いイメージキャプチャ技術を実装し、マスク検査システムからインポートした欠陥位置データを自動的に画像化します。DR-SEMの先代機種であるE5610と比較して、次世代のEUV露光マスク向けに多くの改善が施されています。
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※DR-SEM = Defect Review - Scanning Electron Microscope （欠陥レビュー用走査型電子顕微鏡）
