マルチ・プローバー対応、不揮発性メモリIC向けテスト・システム
NANDフラッシュをはじめとする不揮発性メモリのウェーハ・テスト、ウェーハ・バーンイン・テストに対応したメモリ・テスト・システムです。マルチ・プローバーの内部に組み込んで使用し、テストフロアのフットプリントを節約します。

大容量化が進むNANDフラッシュやその他不揮発性メモリのスループット向上とテスト・コストを大幅に削減
T5221は、他社製マルチ・プローバーの各ステージにテスト・ステーションを組み込み、システム・コントローラーから制御します。最大12台のテスト・ステーションを独立して制御できます。システム・コントローラーの分以外に設置面積の追加を必要とせず、当社の不揮発性メモリ向けテスタ史上最高のスペース効率を実現しました。ウェーハ試験でテスト・ステーション1台当たり最大1152個のデバイスと同時に試験でき、スループットを向上することができます。
進化したハードウエア性能と高速データ転送能力
大容量化が加速される3D NANDにおいて、試験結果として出力されるデータ量の増加が課題になっております。このような増加するデータ処理時間の影響を改善するため、T5221ではデータ転送速度の高速化を実現しております。これにより、当社従来機より更にテスト時間を短縮しスループットを向上されることができます。
従来のメモリ・テスト・システムとの互換性を維持
「T5221」はグローバル・スタンダートとして実績のあるメモリ・テスト・システム用のオペレーティングシステムである「FutureSuite」を採用しております。これにより、従来機から高い互換性により、従来機からのプラットフォーム移植もシームレスに展開することができます。
Target Devices | NAND Flash, Other NVM |
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Parallel Testing | 1152 |
Test Speed | 25MHz/50Mbps |
Overall Timing Accuracy | +/- 4,000ps |
Software | FutureSuite OS (ATL and MPAT compatible) |