株式会社アドバンテスト（本社：東京都千代田区 社長：吉田 芳明）は、DR-SEM※の新製品「E5620」の販売を開始しました。高精度・高スループット欠陥レビュー性能により、次世代フォトマスクの生産品質向上とマスク製造のTAT(Turn Around Time)短縮に大きく貢献します。
E5620は安定性の高いイメージキャプチャ技術を実装し、マスク検査システムからインポートした欠陥座標の位置データを自動的に画像化します。次世代のEUV露光向けマスクのレビュー用に、従来製品から多くの改善が施されています。
E5620の特長
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高い空間分解能
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高安定・全自動画像取得
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マスク検査装置との連携
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元素分析機能（オプション）
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後方散乱電子分析機能（オプション）
E5620は、12月14日から16日に東京ビッグサイトで開催される「セミコン・ジャパン2022」に出展いたします。（ブース番号1549）
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※Defect review-Scanning Electron Microscope：フォトマスクやマスクブランクスの微小な欠陥をレビュー、分析する走査型電子顕微鏡
E5620
アドバンテストについて
アドバンテストは、計測技術をコアテクノロジーとするテスト・ソリューションカンパニーです。1954年の創業以来、エレクトロニクスの発展とともに成長し、人びとの暮らしの「安心・安全・心地よい」をサポートしてきました。主力製品となる半導体試験装置は世界最大手であり、当社の海外売上高比率は9割を超えています。アドバンテストは、「先端技術を先端で支える」という企業理念のもと、進展著しいデジタル社会のインフラストラクチャーである半導体の品質や信頼性の向上を通じて、社会の持続可能な発展に寄与しています。詳しくは当社ウェブサイト(www.advantest.com/ja/)をご参照ください。
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